Intel работает над технологическими процессами Intel 14A и Intel 10A, которые будут использовать EUV-литографию и появятся в 2026 и 2028 году соответственно. Однако, современное оборудование ASML не подразумевает работу со столь тонкими технологическими нормами, поэтому нидерландская компания активно работает над сканером.